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揭秘：1.2亿美元光刻机内部视频曝光,像科幻片一样震撼!

百家作者：人工智能学家 2020-10-08 17:56:45

来源：直观学机械，转今日半导体

荷兰阿斯麦（ASML）公司的光刻机作为世界上最贵最精密的仪器，相信大家都有耳闻，它是加工芯片的设备。其最先进的EUV（极紫外光）光刻机已经能够制造7nm以下制程的芯片，据说一套最先进的7纳米EUV光刻机价格高达1.2亿美元，比一架波音737都贵。

下面是最近ASML公布的极紫外光光刻机内部加工时的镜头，十分震撼：

在这台光刻机中，每秒在真空环境中，从底部容器流出5万滴融化的锡液，一对激光束照射每一滴液体产生等离子体，释放出更短的波长，超高精度的反射镜引导光线....7纳米极紫外线光刻机，分为13个系统，3万个分件，作动时每一分都要精

每台光刻机的装配大约需要50000个零件左右，像德国蔡司的光学设备，美国Cymer的光源都是阿斯麦的上游供应商。阿斯麦创立于1984年，是从飞利浦独立出来的一个半导体设备制造商，，总部位于荷兰费尔德霍芬。

接下来我们

走进ASML光刻机工厂

看看世界上最贵精密仪器出厂地

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