撼动日本垄断地位?韩企量产12个9的高纯度液态氟化氢(99.9999999999%)
日前,韩国Soulbrain公司高纯度液态氟化氢开始批量生产,级别是12个9的高纯度(99.9999999999%),可满足韩国70-80%大规模生产的需求。
自从日本在7月份宣布对韩国出口的原材料进行管制,韩国就开始寻找新的途径替代日本供应商。为了迅速响应需求,Soulbrain在新工厂扩大新增设备,提高生产量,确保相关企业供应稳定性。
高纯度氟化氢量产不难,难度在于提纯的精度,要求有多纯?
液态氟化氢是用于去除在半导体工艺过程中不必要的氧化膜必不可少的材料。氟化氢的生产并不难,难度在于非常精密的提纯。芯片制造企业研发人员称,氟化氢的纯度每高出万分之一(1/10000),制造过程中的精准度就会提高0.1%,生产Wafer的不良率及生产成本也会相应有所减少,在全球竞争加剧下,差距很有可能就意味着行业技术的顶峰与低谷。
行业一般定义,超过97%纯度的氟化氢均为高纯度氟化氢。目前全球范围内,能够制造高纯度氟化氢的前10家企业中,3家来自日本,其余则为中国大陆、台湾地区及韩国的企业。日本产的高纯度氟化氢纯度为99.9999999999%(12个9纯度),可以用于目前最先进的芯片生产,韩国企业的最高技术为99.99999999%(10个9纯度),韩国企业供应纯度主要集中在97%至99.999%范围内。
10个9和12个9纯度相差100倍,在半导体制造工艺中有着巨大差异。同时每当增加1个9时,售价也会上涨,因为溶液纯度越高,需要的技术水平也就越高。日本能够生产12个9高纯度液态氟化氢,是在全球占据重要地位的重要因素。
日本出口管制,是韩国企业逆袭的契机?
日本在原材料市场的垄断地位以及在核心技术上的优势,影响全球供应,大部分高纯度液态氟化氢也都由日本公司提供,其中日本的Stella Chemfa公司、盛田化学工业(Morita Chemical Industries)大约占液态氟化氢市场一半以上的供应。
日本出口管制在7月份实施后,韩国半导体和显示产业受到干扰。据日本财务省发布的分类别贸易统计数据显示,2019年8月日本对韩国的氟化氢出口量为零。9月份日本对韩国出口的氟化氢,同比暴跌99.4%。11月份,日本为一家日本企业向韩国出口氟化氢“开绿灯”,首次批准出口氟化氢。
虽然日本态度有所转变,也放宽了部分对韩半导体原料出口限制,但是韩国原材料国产化已提上日程,而韩国企业Soulbrain批量生产12个9高纯度液态氟化氢(99.9999999999%)更具重要意义。
Soulbrain首席执行官Kang Byung-chang表示:由于韩国的及时支持(例如化学品许可证),提高了工厂提早建成和运营的可能性。同时,韩国也在加强对自主研发材料的支持,包括零件和设备的技术的开发,投资更是去年的2.5倍,将用于技术开发,大规模生产以100个主要战略项目为中心的试验。韩国还计划通过领先的公司和供应公司之间加强合作模式,来增加全球供应链的公司数量。
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