光刻机巨头 ASML 供应商失火，殃及全球 7 纳米大战“关键军火”供应？

芯片产业正值多事之“冬”，除了承受全球景气迟缓的巨大压力外，设备产业更是冷风飕飕，3 日更传出荷兰光刻机龙头大厂 ASML 的元件供应商 Prodrive 发生火灾，ASML 立刻启动备用供应商的策略调货，今年出货不至于有影响，但 2019 年出货是否递延要再评估，业内人士认为，如果受影响的是攸关台积电、三星电子（Samsung Electronics）火热大战的 EUV 光刻机，ASML 身为全球唯一的供应商，恐对全球 7 纳米大战带来不确定因素！

（来源：ASML）

设备业上半年景气热，然下半年却处于“火线地带”

2018 年的设备产业一直是处于芯片业的“火线地带”，原本上半年订单满手且出货不及，到了下半年，整个产业景气大反转，10 月国内更发生 DRAM 自主技术阵营福建晋华突然被美国禁运设备的事件，11 月更传出美系设备大厂鼓励员工多排休假，有往年放“无薪假”的隐隐前兆。

原以为快到年底，不平静的 2018 年终于要结束，即将要迎接崭新 2019 年之际，突然又发生荷兰光刻机龙头大厂 ASML 供应商失火事件！

ASML 对 DT 君表示，元件和模块供应商 Prodrive 在周末发生火灾，导致供应商现有的库存产能遭到摧毁，公司在第一时间已经找其他供应商提供代替元件和物料，目前确定 2018 年出货时程不会有影响，但 2019 年初的供货可能递延，目前正在评估中。

ASML 也强调，由于事发突然，基于谨慎考量，需要几周的时间来评估该事件的实际影响，最重要的事，没有人员在该起火灾中发生意外。

Prodrive 是 ASML 的光刻机元件和模块供应商，据了解，双方合作时间非常长，至少可追溯到 2011 年。ASML 在 2017 年也颁发给 Prodrive 最佳供应商奖项“ASML Supplier Collaboration Award”。

ASML 突发供应商失火事件，是否影响紧俏的 EUV 机台受注目

行业内人士认为，实际影响要等 ASML 公布评估后的结果，可能受影响的是哪一种机台设备，是深紫外光（DUV）机台？或是攸关于台积电、三星 7 纳米大战的极紫外光（EUV）机台？因为两家大厂会在 2019 年进入 7 纳米 EUV 机台大战的关键时刻，后勤的“关键军火设备”即时供应是至关重要！

根据美国调研机构的资料显示，2017 年 ASML 在全球半导体光刻设备厂中以 85 % 的市占率稳居龙头，其次是日本厂商尼康（Nikon ) 的 10.3 %，以及佳能 ( Canon ) 的 4.3 %，而 ASML 已经是连续 16 年稳居市场第一。

再者，ASML 在 EUV 光刻机上，是处于全球独占的地位，意思是该半导体设备只有 ASML 能供应，这在全球产业链中属于极度特别的状态，而一台 EUV 光刻机的造价高达 1 亿欧元。

（来源：ASML）

ASML 目前有三大产品线分别为 EUV 光刻机 、 DUV 光刻机 和 application products。当中，DUV 光刻机是营运主力且出货量最大，而 EUV 是最具前瞻性的产品，明年开始放量。

根据 ASML 预估，2018 年底可望完成共 18 台 EUV 光刻系统的出货，由于第一批 EUV 导入生产的客户将于 2019 年进入量产阶段，公司也预估 2019 年 EUV 光刻机台的出货量可达 30 台，2020 年出货量更将上看 40 台。

此外，ASML 也致力于推进 EUV 技术蓝图，并取得重要进展，下一代 NXE:3400C 设备预计于 2019 年下半年开始出货， NXE : 3400C 设备每小时曝光的晶圆数量增加至 155 片。

行业内人士认为，现在各界最关心的环节是，ASML 供应商失火事件是否会影响到主要大客户在 2019 年 7 纳米相关机台的出货，包括最关键的 EUV 和 DUV 设备。

台积电、三星 EUV 光刻机大战将在明年达到顶峰

台积电的 7 纳米工艺已经在 2018 年量产，但是采用非 EUV 技术的版本，而是沿用多重曝光技术（multi-patterning），到了 2019 年第一季，台积电采用 EUV 技术的第二代 7 纳米工艺（N7+）就会开始流片，全面迎战三星采用 EUV 技术的 7 纳米工艺。

台积电第二代 7 纳米工艺所以备受注目，是因为首家客户是就是海思新一代的麒麟 990 处理器，预计第二季可开始生产，这是华为第一款支持 5G 的处理器，而第二代 7 纳米工艺（N7+）可以带来电晶体密度再提升 20 %，功耗降低 10% 的优势。

按照这个时程推估，海思新一代的麒麟 990 处理器量产时程，会对上三星采用 EUV 技 术的第一代 7 纳米工艺，但三星主要以支持自己智能手机为主，之前台积电和三星针对究竟是谁先量产 EUV 技术，是互不相让！

再者，ASML 在中国的业务比重也是越来越大，今年上半年中国市场占 ASML 营收约 20 %，估计全年平均约可达到 15 % 左右。目前 ASML 在中国的客户有中芯国际、华虹半导体、长江存储、合肥长鑫、英特尔大连厂、SK 海力士西安厂、福建晋华等。

（来源：DT君）

摩尔定律走到极限之际，有几条路径是延续其寿命的关键，其中之一就是 EUV 光刻机技术的突破，而唯一能生产 EUV 光刻机的 ASML 角色更是关键。

经过许多年的研发和进展，EUV 光刻机的曝光效率大幅提升到可以让客户导入的阶段，采用 EUV 光刻机的芯片终于要放量，2019 年会是半导体产的历史时刻，这次 ASML 供应商失火或许是小风波，但也反应“关键军火”的稀少性，让全球芯片生产成本越来越昂贵、供应商越来越集中，产业链随时都处于极度紧绷的状态！

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