成功自研28nm！华力二期12英寸生产线建成投片

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华虹集团旗下华力二期（华虹六厂）生产线正式建成投片，首批12英寸硅片进入工艺机台，开始28纳米芯片产品制造。

投资387亿元的上海华力二期12英寸集成电路芯片制造生产线（华虹六厂）于10月18日在上海浦东新区康桥工业区举行建成投产大会，该项目将使得华虹集团集成电路制造能力覆盖0.5μm-14nm各工艺技术平台，制造规模进入全球前五，工艺技术进入全球第一梯队。

资料显示，该项目为国家910工程的子项目之一，2016年底正式开工，今年5月首台光刻机进厂，首条线规划月产能4万片，机台按量产28nm、研发14nm配置，其中10%的设备来自国内厂商，导入工艺为28-20-14nm。

该项目运营主体上海华力是国家909工程载体华虹集团旗下的子公司，成立于2010年，是国家909工程升级改造项目承担主体，拥有中国大陆第一条全自动12英寸集成电路芯片制造生产线（华虹五厂），工艺技术覆盖55-40-28nm各节点，月产能3.5万片。

华虹集团旗下还包括港股上市公司华虹半导体，其旗下投资25亿美元、月产能4万片的无锡12英寸集成电路制造生产线（华虹七厂）日前也传来阶段性进展消息，预计2018年底可完成主体结构。

上海市副市长吴清在投产大会上表示，到2020年上海芯片设计业要进入7nm至5nm节点，芯片制造要迈入10nm至7nm工艺。华虹集团董事长张素心表示，公司目前28nm工艺产品良率达到93-98%，2020年华虹将具备14nm FinFET产品生产能力，基本上满足国内中高端芯片需求。

来源：中国证券报

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