开战之年！中芯绍兴厂另辟摩尔定律以外的蹊径，预计2020年投产

今年以来，长江三角洲附近的集成电路项目密集落户，被称为“开战之年”，正当众人关注焦点都在高端技术14纳米工艺时，中芯国际对于特色工艺的布局丝毫没有松懈，日前宣布特色工艺8寸厂正式落户绍兴，18 日举行奠基仪式，由 CO-CEO 赵海军亲自主持，中芯首席财务官高永岗博士、战略发展中心资深副总裁葛红、绍兴市委书记马卫光、市委副书记、市长盛阅春出席。

 

在国家集成电路产业基金（大基金）带动下，国内形成多个半导体产业发展聚落，其中产值最高且最受注目的聚落，莫过于以上海、江苏、浙江为首的长江三角洲地区，这是中国IC制造和封测技术的集中之地，今日，属于长三角重要布局的一环，中芯绍兴8寸厂奠基仪式宣布正式启动。

 

中芯这座绍兴 8 寸厂项目计划于 2019 年 3 月完成厂房结构封顶，9 月设备搬入，2020 年 1 月正式投产。

图丨 赵海军

赵海军表示，中芯绍兴项目从 3 月 1 日签署合资协议至举行奠基仪式只有短短 79 天，这充分体现绍兴市政府在发展集成电路产业上的决心和务实高效的作风，中芯国际对这个项目充满信心，将尽力扩大市场份额、不断完善产品链，快速占据国内市场领导地位，使中芯绍兴与中芯国际实现产业链上的差异化互补和协同发展，打造一个国内领先、世界一流的特色工艺半导体企业，为实现中国智造做出贡献。

不单是中芯国际，对于国内多家半导体公司而言，都不约而同开始重视特色工艺领域，这与近几年来物联网、智能汽车应用的兴起，对于特色工艺需求增温，有着紧密关系，这些市场应用不依赖高端的 14/10/7 纳米技术，但非常需要纯熟的成熟工艺来打造相关芯片。

 

中芯国际近几年在特色工艺领域，包括背照式 CMOS 图像传感器（CIS-BSI）、55 纳米嵌入式闪存 eFlash、38 纳米独立 NAND 闪存、为 TDDIC 而开发的 MTE 95 纳米、惯性测量设备 MEMS-IMU 制程技术等，都有重大进展。

 

中芯集成电路制造(绍兴)有限公司，也就是中芯绍兴 8 寸厂是由中芯国际、绍兴市政府、盛洋集团共同出资设立，首期投资金额为 58.8 亿元，先建立一条 8 寸厂生产线，主要是生产微机电（MEMS）、功率器件等产品，今年 3 月由中芯国际董事长周子学与绍兴市委副书记等举行签约仪式，5 月 18 日正式动土。

 

随着人工智能、5G通信、物联网、智能汽车、工控等应用领域市场需蓬勃发展，特色工艺的微机电系统需求抬升，以往国内在先进微机电系统、功率器件芯片技术上，是技术较为薄弱的环节，在中芯绍兴厂战略性角色的加入下，可望让该市场技术有所突破，打造成国内领先的特色工艺半导体企业。

 

中芯国际董事长周子学博士在签约仪式时指出，中芯国际在微机电、功率器件等特色工艺领域耕耘已有近 10 年，这次与绍兴市合作做大做优这个项目，符合中芯国际打造长三角先进制造业集群的战略目标，我们有信心打造出一个国内领先、世界一流的特色工艺半导体企业。

图丨中芯绍兴厂18日举行奠基仪式，CO-CEO赵海军表示，要打造国内领先、世界一流的特色工艺半导体企业，为中国智造做出贡献

其他专注特色工艺技术的半导体厂，还有去年底杭州士兰微电子宣布与厦门半导体投资集团签署投资合作协议，拟在厦门建设两条以 MEMS、功率器件为主的 12 寸集成电路制造生产线。

 

另外，日前才宣布在无锡建立全新 12 寸厂的华虹半导体，也是专注于半导体特色工艺的公司，擅长于成熟 0.13 微米和 0.11 微米嵌入式非易失性存储器（eNVM）工艺技术，并持续这些技术基础上，成功开发具有更先进特征尺寸的90 纳米 eNVM 工艺，并且导入量产，且 eNVM 技术优势也可深化延伸，进入智能卡、微控制器（MCU)）、安全芯片等制造解决方案。

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