韩媒:SK海力士计划在M16产线中引入EUV工艺

百家 作者:闪存市场 2020-07-21 19:14:55


据韩媒报道,SK海力士内部已经成立了研究小组专门针对EUV光刻相关技术展开研究,并计划将其应用于最新的DRAM产线,为即将到来的EUV时代做准备。


值得注意的是,SK海力士也在EUV工艺相关材料领域进行了投资。业内人士表示,SK海力士自去年初就开始研究EUV技术中需要使用的TF材料。


报道称,TF研究相关部门已经由SK海力士副总裁郑泰佑接任。郑泰佑是蚀刻技术的专家,曾参与SK海力士首个10nm DRAM“Arius”的开发项目以及下一代NAND闪存的研发过程。


EUV工艺相较于现有光刻工艺波长更短,约为十四分之一,可以用作形成精细图案,能够减少光刻次数,近而降低成本。当然,由于EUV机台十分昂贵,动辄十亿元的价格,厂商在前期的投入也将十分巨大。


在EUV产线的建立方面,SK海力士也在积极推进,并计划在利川厂M16产线中引入EUV制程。


此外,SK海力士还计划通过投资和收购EUV材料制造商确保技术的先进性。



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